Výška na bruskách
-
Odvětví:
- Polovodiče/LCD
-
Produkty:
- Měřicí senzory
Díky senzorovým hlavám zabudovaným do brusky lze bezdotykově měřit vzdálenost k substrátovému disku, což umožňuje velmi přesnou kontrolu mezer. Kompaktní senzorové hlavy řady CL dokážou měřit koaxiálně, což zmenšuje prostor nutný pro instalaci.
