Poloha vrubu
-
Odvětví:
- Polovodiče/LCD
-
Produkty:
- Měřicí senzory
Ke zjištění polohy vrubů se obvykle používá 1D laserový senzor. Problémy s detekcí však vznikají s tím, že se substrátové disky ztenčují, protože deformace může zabránit tomu, aby se bod senzoru dostal do vrubu. Nabídka laserů řady LJ-X kompenzuje jakékoli nesprávné zarovnání způsobené deformací substrátového disku.
