Profil hrany substrátového disku

Některé substrátové disky s velkým průměrem se brousí s ponecháním několika milimetrů vnějšího obvodu, aby se snížilo riziko poškození při přenosu a deformace. Řada LJ-X dokáže okamžitě změřit tvar této vnější periferie, například rozdíl šířky a výškový rozdíl. Tvar lze kontrolovat po celém obvodu otáčením substrátového disku.