Zbytkové vibrace robotické ruky
-
Odvětví:
- Polovodiče/LCD
-
Produkty:
- Měřicí senzory
Při přenosu substrátových disků, mřížky vzoru nebo souvisejících dílů je důležité zahájit další proces poté, co ustanou zbytkové vibrace nakladače. Použití laserového senzoru ke kontrole, zda zbytkové vibrace ustaly, může předejít poruchám zařízení a vadnému zpracování v dalším průběhu.
