Poloha robotické ruky
-
Odvětví:
- Polovodiče/LCD
-
Produkty:
- Měřicí senzory
Změny výšky nebo polohy robotické ruky mohou vést k riziku kolize se substrátovými disky v nosiči, a proto je nutná pravidelná kontrola. Díky koaxiálnímu principu měření má řada CL kompaktní hlavy, které lze instalovat v omezeném prostoru a kontrolovat polohu ramene bez zastavení výroby.
