Deformace substrátového disku
-
Odvětví:
- Polovodiče/LCD
-
Produkty:
- Měřicí senzory
Aby nedocházelo k deformaci nebo poškození substrátových disků s větším průměrem nebo tenčích substrátových disků při přenosu robotickou rukou, je důležité substrátové disky měřit a kontrolovat, zda nedochází k jejich deformaci. Řada CL dokáže snímat cílové objekty s jakýmkoli povrchem, což umožňuje stabilní měření drsných, zrcadlových a vzorovaných povrchů.
