Měření polohy/vibrací ruky robotu
-
Odvětví:
- Automobilový průmysl
-
Produkty:
- Měřicí senzory
V rámci procesu přenosu waferů je důležité zahájit následující proces po odeznění zbytkových vibrací po zastavení robotu. Při použití laserového senzoru ke kontrole, zda zbytkové vibrace odezněly, se může předejít poruše zařízení a vadnému zpracování v rámci následujícího procesu.
