Detekce polohy vrubu
-
Odvětví:
- Automobilový průmysl
-
Produkty:
- Měřicí senzory
Při konvenčních metodách se k detekci polohy vrubů používal 1D laserový senzor. Wafery se ztenčují, a tak při detekci nastává problém, že v případě větší deformace měřicí bod takový vrub nemusí zachytit. Řádkový laser profilometru řady LJ-V si s chybným vyrovnáním způsobeným deformací waferu dokáže poradit.
