Měření excentricity susceptoru

Výroba polovodičů

Abnormální excentricita způsobuje vytváření nepravidelných dílů

Výhoda

Vysokorychlostní vzorkování a měření s vysokou přesností může zvyšovat dobu cyklu

ZJISTIT PODROBNOSTI O PRODUKTU

  • Tento senzor využívající laserovou triangulaci nabízí nejvyšší rychlost a přesnost ve své třídě a zajišťuje tak vynikající výkon pro širokou škálu aplikací.

  • K dispozici je šest hlav senzorů s nově vyvinutým algoritmem a dvěma typy optických systémů.