Detekce pozice zářezů na waferu

Systém strojového vidění detekuje otočnou pozici podle zářezu na waferu.

Rozlišení kamery 5 megapixelů a zabudované algoritmy nástroje pro hledání vad na profilu umožňují stabilně detekovat zářez a poskytnout údaje o jeho pozici a rozměrech.

Výhoda

K detekci pozice zářezu se používala 2megapixelová kamera, opakovatelnost kamery však nebyla stabilní. Implementací systému řady XG, vysokorychlostní kamery s rozlišením 5 megapixelů a nového nástroje pro hledání vad na profilu byl zářez zjišťován stabilně.

Přizpůsobitelný kamerový systém