Lézeres, konfokális pásztázó mikroszkópok

Lézeres pásztázó mikroszkópok

A lézeres pásztázó mikroszkópokban kétféle fényforrás található: fehér fény a színekkel kapcsolatos adatok gyűjtéséhez, és lézeres fényforrás a magassági adatok gyűjtéséhez. A magassági adatok rögzítéséhez a lézer a minta teljes felületén XYZ irányban végez pásztázást, és a visszatükrözött fényintenzitást méri. Ennek az eredménye a nagy felbontás, a nagy mélységélesség, és a nanométeres nagyságrendű magassági felbontással rendelkező színes kép a pontos profil- és érdességmérésekhez.

A mérés alapelvének funkcionális ábrája. 1. A lézer az X és Y irányokban végez pásztázást. 2. Az objektívlencse a Z irányban mozog, és a lézer ismét az X és Y irányban végez pásztázást. 3. A pásztázási folyamat addig ismétlődik, amíg el nem éri a mérhető mélység határát. 4. A mérés ekkor befejeződik.

TARTALOM