Lézeres, konfokális pásztázó mikroszkópok
Lézeres pásztázó mikroszkópok
A lézeres pásztázó mikroszkópokban kétféle fényforrás található: fehér fény a színekkel kapcsolatos adatok gyűjtéséhez, és lézeres fényforrás a magassági adatok gyűjtéséhez. A magassági adatok rögzítéséhez a lézer a minta teljes felületén XYZ irányban végez pásztázást, és a visszatükrözött fényintenzitást méri. Ennek az eredménye a nagy felbontás, a nagy mélységélesség, és a nanométeres nagyságrendű magassági felbontással rendelkező színes kép a pontos profil- és érdességmérésekhez.
