Kontroler

modelul

VK-X1000

Typ

Sterownik

Powiększenie całkowite

Do 28 800 x^*1

Pole widzenia (minimalny zakres)

Od 11 do 7398 µm

Liczba klatek na sekundę (prędkość pomiaru laserowego)

4–125 Hz, 7900 Hz^*2

Zasada pomiaru

Układ optyczny

Konfokalny system optyczny z otworem, Ostrość

Element odbierający światło

16-bitowe wykrywanie: fotopowielacz, CMOS z kolorem w wysokiej rozdzielczości

Metoda skanowania (podczas pomiaru ogólnego I zszywania obrazów)

Automatyczne ustawianie górnej/dolnej granicy, szybkie ustawianie intensywności światła laserowego (AAGII), automatyczne wykrywanie i skanowanie w przypadku słabego odbicia (podwójne skanowanie)

Pomiar wysokości

Rozdzielczość wyświetlacza

0,5 nm (VK-X1100), 5 nm (VK-X1050)

Skala liniowa

Zakres dynamiczny

16 bitów

Powtarzalność σ

Konfokalny pomiar laserowy

20 x, 40 nm; 50 x, 12 nm (VK-X1100)
20 x, 40 nm; 50 x, 20 nm (VK-X1050)

Zmiana ostrości

5 x, 500 nm; 10 x, 100 nm; 20 x, 50 nm; 50 x, 20 nm (VK-X1100)
5 x, 500 nm; 10 x, 100 nm; 20 x, 50 nm; 50 x, 30 nm (VK-X1050)

Zakres pobierania danych wysokości

0,7 mln kroków

Dokładność

0,2 + L/100 µm lub lepiej^*3

Pomiar szerokości

Rozdzielczość wyświetlacza

1 nm (VK-X1100), 10 nm (VK-X1050)

Powtarzalność 3σ

Konfokalny pomiar laserowy

20 x, 100 nm; 50 x, 40 nm (VK-X1100)
20 x, 100 nm; 50 x, 50 nm (VK-X1050)

Zmiana ostrości

5 x, 400 nm; 10 x, 400 nm; 20 x, 120 nm; 50 x, 50 nm (VK-X1100)
5 x, 400 nm; 10 x, 400 nm; 20 x, 120 nm; 50 x, 65 nm (VK-X1050)

Dokładność

±2%^*3

Konfiguracja stolika XY

Ręczny: Zakres ruchu

70 mm × 70 mm

Napędzany: Zakres ruchu

100 mm × 100 mm

Obserwacja

Opcje obrazu

16-bitowy, laserowy, konfokalny, kolorowy obraz CMOS o wysokiej rozdzielczości, konfokalny, konfokalny system optyczny z filtrem ND, obraz C-laser DIC (kontrast Nomarskiego)

Oświetlenie

Oświetlenie pierścieniowe, oświetlenie współosiowe

Źródło światła laserowego do pomiarów

Długość fali

Fioletowy laser półprzewodnikowy, 404 nm (VK-X1100)
Czerwony laser półprzewodnikowy, 661 nm (VK-X1050)

Maksymalna moc wyjściowa

1 mW

Klasa lasera

Produkt laserowy klasy 2 (IEC60825-1)

Zasilanie

Napięcie zasilania

100–240 V AC, 50/60 Hz

Pobór prądu

150 VA

Masa

Ok. 3,0 kg