Konfokalny mikroskop do skanowania laserowego 3D

Seria VK-X

Ten model został wycofany z oferty.
Zgodność ze standardem certyfikacji zapewniona jest od momentu wysyłki z naszej firmy.

Jednostka pomiarowa VK-X130K

VK-X130K - Jednostka pomiarowa

*Należy pamiętać, że akcesoria przedstawione na zdjęciu służą wyłącznie do celów ilustracyjnych i mogą nie być dołączone do produktu.

  • CE Marking
  • CSA

Dane techniczne

Model

VK-X130K

Powiększenie całkowite

Do 19 200×*1

Pole widzenia (minimalny zakres)

Od 16 do 5400 µm

Liczba klatek na sekundę

Prędkość pomiaru laserowego

4–120 Hz, 7900 Hz*2

Pomiar wysokości

Skala liniowa

5 nm

Powtarzalność σ

20×: 40 nm, 50×: 20 nm, 100×: 20 nm*3

Pamięć pomiarów na osi Z

1,4 mln kroków

Dokładność

0,2 + L/100 µm lub lepiej*4*5

Pomiar szerokości

Rozdzielczość wyświetlacza

10 nm

Powtarzalność 3σ

20×: 100 nm, 50×: 50 nm, 100×: 30 nm*3

Dokładność

±2%*6

Konfiguracja stolika XY

Ręczny: Zakres roboczy

70 mm × 70 mm

Napędzany: Zakres roboczy

50 × 50 mm, 100 × 100 mm*7

Obserwacja

Maksymalna rozdzielczość rejestrowania

3072×2304

Masa

Mikroskop

Ok. 25 kg (bez głowicy czujnika, ok. 8,5 kg)

Sterownik

Ok. 11 kg

*1 Z 23-calowym monitorem.
*2 Przy maksymalnej prędkości przy zastosowaniu kombinacji trybu pomiaru/jakości pomiaru/powiększenia obiektywu. Gdy skanowanie linii mieści się w zakresie skoku pomiarowego 0,1 µm.
*3 Podczas pomiaru skali odniesienia z 20× obiektywem (lub wyższym) w temperaturze otoczenia 20°C ± 2°C. Z wyjątkiem modelu VK-X120/X130 z obiektywem 100×.
*4 Podczas pomiaru skali odniesienia z obiektywem 20x (lub wyższym) w temperaturze otoczenia 20°C ± 2°C. W przypadku VK-X120/X130 z obiektywem 100x.
*5 L = pionowa długość pomiarowa w µm
*6 Podczas pomiaru skali odniesienia z obiektywem 20× (lub wyższym) w temperaturze otoczenia 20 ± 2°C. Z wyjątkiem modelu VK-X120/X130 z obiektywem 100×.
*7 Ze stolikiem napędzanym.

Arkusz danych (PDF) Inne modele