Wysokość występu i płaskość uchwytów elektrostatycznych
-
Branża:
- Półprzewodniki/LCD
-
Produkty:
- Czujniki pomiarowe

Sterownik oblicza płaskość na podstawie danych pomiaru wysokości z wielu głowic czujnika. Głowice czujników serii CL nie zawierają elementów elektrycznych, więc nie generują ciepła. Taka konstrukcja nie zmienia temperatury urządzenia, co umożliwia stabilny pomiar.