Położenie osi Z maszyn do wyżarzania
-
Branża:
- Półprzewodniki/LCD
-
Produkty:
- Czujniki pomiarowe

Wysokość wafla można mierzyć podczas wyżarzania laserowego. Kompaktowe głowice czujników serii CL można instalować w miejscach o ograniczonej przestrzeni. Dzięki metodzie pomiaru współosiowego plamka pomiarowa pozostaje w stałym położeniu niezależnie od odległości między czujnikiem a próbką, zapewniając dokładne pomiary.