Kształt powierzchni tarczy polerskich
-
Branża:
- Półprzewodniki/LCD
-
Produkty:
- Czujniki pomiarowe

Dawniej sprawdzenie zużycia wymagało zdjęcia tarczy polerskich z urządzenia, co powodowało przestoje. Kompaktowe głowice czujników serii CL można instalować bezpośrednio na urządzeniach, więc pomiar tarczy polerskich nie wymaga ich demontażu. Kształty tarczy polerskich, jak np. głębokość rowków, można mierzyć na miejscu.