Drgania resztkowe ramion robotycznych

W procesie przenoszenia wafli, siatek lub powiązanych części ważne jest, aby następny proces rozpocząć dopiero po ustaniu drgań resztkowych ładowarki. Użycie laserowego czujnika przemieszczenia do sprawdzenia, czy drgania resztkowe ustały, może zapobiec awarii sprzętu i wadliwemu przetwarzaniu w dalszej części procesu.