Odkształcenia wafla krzemowego

Aby zapobiec deformacji lub uszkodzeniu wafli o większej średnicy lub cieńszych podczas przenoszenia przez ramię robotyczne, ważne jest, aby mierzyć i kontrolować wafle pod kątem odkształceń. Seria CL mierzy próbki o dowolnej powierzchni, umożliwiając stabilny pomiar powierzchni chropowatych, lustrzanych i wzorzystych.