Pomiar pozycji/drgań ramienia robotycznego

W procesie przenoszenia wafli ważne jest, aby następny proces rozpocząć po ustaniu drgań resztkowych generowanych podczas zatrzymania robota. Użycie laserowego czujnika przemieszczenia do sprawdzenia, czy drgania resztkowe ustały, może zapobiec awarii sprzętu i wadliwemu przetwarzaniu w następnym procesie.