1D lézeres elmozdulásmérő
Háromszögelési módszer
Ahogy a következő ábrán látható, a lézer eltalálja a targetet, a targetről visszaverődő fény az érzékelő lencsén keresztül koncentrálódik, és a fényfelvevő elemre fókuszálódik. Ha a szenzor és a target távolsága megváltozik, akkor a visszavert fény szöge is megváltozik, ami a fogadott fény helyzetének változását okozza a fényfelvevő elemen. Ez a változás arányos a target mozgásának mértékével, és mivel ismerjük az egyes pozíciók közötti távolságot a fényfelvevő elemen, meg tudjuk határozni az elmozdulást.
- A
- Félvezető lézer
- B
- Jeladó lencse
- C
- Fényérzékelő lencse
- D
- Fényfelvevő elem
Nagy sebességű/nagy pontosságú lézeres elmozdulásmérő
LK-G5000 sorozat
Méret vastagság, szélesség és lépéselmozdulás magasság, rezgés és löket kivételes képesség bármilyen helyzethez
Konfokális módszer
A lézert egy rezgő hangvillához rögzített lencsepáron keresztül sugározza és fogadja. Ha a fogadott fény intenzitása nagyobb, mint egy beállított küszöbérték, akkor megméri a hangvilla pozícióját, és mivel ez a pozíció a szenzortól való meghatározott távolságra vonatkozik, az elmozdulás kiszámítható.
- (1)
- Kis mennyiségű fogadott fény
- (2)
- Nagy mennyiségű fogadott fény
- A
- Félvezető lézer
- B
- Lyuk
- C
- Fényfelvevő elem
- D
- Hangvilla
- E
- Szenzor
Felszín-letapogató lézeres, konfokális elmozdulásmérő
LT-9000 sorozat
A 0,08 Mil 2 µm-es lézersugárfolt növeli a mérés stabilitását A filmvastagság mérése konfokális elven történik.
Spektrális interferencia módszer
- SLD
- Az SLD egy fényspektrumot bocsát ki a targetre. A szenzorfejben van egy félig átlátszó tükör, amely a fény egy részét visszaveri a szenzorba, létrehozva egy referenciafelületet, miközben a fény többi részét átengedi, és a target felületéről verődik vissza a szenzorba.
- Interferencia fény
- A két visszavert fénysugár interferál egymással. Az interferencia intenzitása a referenciafelület és a target közötti távolságtól függ.
- Spektroszkópikus elemzés
- Az interferenciafényt a spektroszkóp segítségével különböző hullámhosszakra bontva egy adott hullámhosszra vonatkozó optikai intenzitáseloszlást kap. A célponttól való távolságot az eloszlás hullámforma-elemzésével kapja meg.
