Messkopf VK-X4100

Modell

VK-X4100

Typ

Messkopf

Gesamtvergrößerung

42× bis 28800× ^*1

Sichtfeld

11 bis 7398 μm

Messprinzip

Konfokale Lochblendenoptik, Fokusvariation, Weißlichtinterferometrie, Spektrale Interferenz

Wellenlänge des Lasers

Halbleiterlaser, 404 nm

Max. Geschwindigkeit der Lasermessung

Oberfläche: 125 Hz, Linie: 7900 Hz ^*2

Maximale Ausgangsleistung

1,0 mW

Laserklasse

Klasse 2 (DIN EN60825-1)

Laser-Lichtempfangselement

16-Bit-Photomultiplier

Weiße Lichtquelle zur Beleuchtung

Weiße LED

Weißlicht-Empfangselement

Hochauflösender CMOS-Chip

Konfokaler Laser

Anzeigeauflösung in Z

0,1 nm

Wiederholgenauigkeit (σ) in Z

(10σ) 100 nm, (20σ) 40 nm, (50σ) 12 nm

Anzeigeauflösung in XY

129,7 nm ^*3

Wiederholgenauigkeit (3σ) in XY

×10 (3σ) 200 nm, ×20 (3σ) 100 nm, ×50 (3σ) 40 nm

Fokusvariation

Anzeigeauflösung in Z

0,1 nm

Wiederholgenauigkeit (σ) in Z

(3σ) ×5 500 nm, (3σ) ×10 100 nm, (3σ) ×20 50 nm, (3σ) ×50 20 nm

Anzeigeauflösung in XY

0,1 nm

Wiederholgenauigkeit (3σ) in XY

(3σ) ×5 400 nm, (3σ) ×10 400 nm, (3σ) ×20 120 nm, (3σ) ×50 50 nm

Weißlichtinterferometrie

Anzeigeauflösung in Z

0,01 nm

Anzeigeauflösung in XY

0,1 nm

Wiederholgenauigkeit der Oberflächentopographie

0,08 nm ^*4

Wiederholgenauigkeit von RMS

0,008 nm ^*4

Spektroskopische Messung der Schichtdicke

Wiederholgenauigkeit σ

0,1 nm ^*4

Genauigkeit

±0,6% ^*4

Optische Betrachtung

Anzahl der Pixel

5,6 Millionen

Revolver

6-Loch-Revolver (motorisiert)

Ringbeleuchtung

2,5×, 5×, 10×

Optischer Zoom

1 bis 8×

Netzanschluss

Spannung

100 bis 240 V AC, 50/60 Hz

Leistungsaufnahme

150 VA

Umgebungsbeständigkeit

Umgebungstemperatur

+15 bis +28°C

Relative Luftfeuchtigkeit

20 bis 80% r.F. (keine Kondensation)

Gewicht

Ca. 13 kg