Messkopf Modell mit konfokalem Laser + Messtaster LM-X100TL

Modell

LM-X100TL

Typ

Messkopf

Bildsensor

1", 20-Megapixel-Monochrom-CMOS

Objektiv

Beidseitig telezentrisches Objektiv

Bildgestützte Messung

Bildfeld

Messmodus mit breitem Bildfeld

325 mm × 175 mm

Hochpräziser Messmodus

306 mm × 156 mm

Anzeigeauflösung

0,1 μm

Wiederholgenauigkeit

Innerhalb des Bildfelds der Kamera (2 σ)

Messmodus mit breitem Bildfeld

±0,5 μm

Hochpräziser Messmodus

±0,1 μm

Mit Objekttisch-Verschiebung

X/Y-Achse

±0,9 μm

X/Y-Ebene

Messgenauigkeit

Innerhalb des Bildfelds der Kamera (2 σ)

Messmodus mit breitem Bildfeld

±2 μm ^*1

Hochpräziser Messmodus

±0,7 μm ^*2

Mit Objekttisch-Verschiebung

X/Y-Achse (EUX,MPE , EUY,MPE)

±(1,8 + 0,02 L) μm ^*3

X/Y-Ebene (EUXY,MPE)

±(2,8 + 0,02 L) μm ^*3

AF-Höhenmessung

Wiederholgenauigkeit

±2 μm

Messgenauigkeit (EUZ,MPE)

±(4,8 + 0,04 L) μm ^*4

Laser-Höhenmessung

Messbarer Bereich (X/Y)

239 mm × 146 mm

Anzeigeauflösung

0,1 μm

Wiederholgenauigkeit

±0,6 μm ^*5

Messgenauigkeit (EUZ,MPE)

±(4,8 + 0,04 L) μm ^*4

Lichtpunktdurchmesser

ø50 μm

Laserklasse

Klasse 1

Messung mit dem Messtaster

Messbarer Bereich (X/Y)

248 mm × 141 mm

Antastkraft

0,015 N ^*6

Anzeigeauflösung

0,1 μm

Wiederholgenauigkeit

X/Y-Achse

±1,4 μm

X/Y-Ebene

Z-Achse

Messgenauigkeit

X/Y-Achse (EUX,MPE EUY,MPE)

±(2,8 + 0,02 L) μm ^*7

X/Y-Ebene (EUXY,MPE)

±(3,8 + 0,02 L) μm ^*7

Z-Achse (EUZ,MPE)

±(4,8 + 0,04 L) μm ^*4

Externer Remote-Eingang

Spannungsloser Eingang (mit und ohne Kontakt)

Externer Ausgang

I.O./N.i.O./FEHLGESCHLAGEN/MESSUNG

PhotoMOS-Ausgang
Nennlast: 24 VDC, 0,5 A
EIN-Widerstand: max. 50 mΩ

Beleuchtungssystem

Durchlicht

Telezentrische Durchlichtbeleuchtung (grüne LED)

Ring

Mehrfachwinkel-Beleuchtung mit vier Segmenten, (elektrisch, farbige/weiße LED)
Flachwinkel-Beleuchtung (Richtungsbündelung, elektrisch, grüne LED)
Telezentrische koaxiale weiße LED-Beleuchtung

Externe Beleuchtungssteuerung

Lichtmengenregelung

PWM-Regelung, 100 kHz

Ausgangsspannung

12 V DC

Ausgangsstrom

max. 1,6 A

XY-Objekttisch

Verfahrweg

300 mm × 150 mm
(elektrisch)

Maximale Gewichtsbelastung

7 kg

Z-Objekttisch

Verfahrweg

75 mm (elektrisch)

Netzanschluss

Spannung

100 bis 240 VAC ±10% (50/60 Hz)

Leistungsaufnahme

max. 150 VA

Umgebungsbeständigkeit

Umgebungstemperatur

+10 bis 35°C ^*8

Relative Luftfeuchtigkeit

20 bis 80% RL (keine Kondensation)

Überspannungskategorie

ll

Verschmutzungsgrad

2

Gewicht

Ca. 35 kg