XY-Messsystem

Modell

VH-M100E

Objekttisch-Verfahrweg

Je 100 mm in X- und in Y-Richtung

Auflösung der Anzeige

0,1 µm

Bewegungsgenauigkeit

4 + 0,02L (µm)^*1

Belastbarkeit

3 kg

Nennwerte

Versorgungsspannung

100 bis 240 VAC, 50/60 Hz

Leistungsaufnahme

50 VA

Umgebungsbeständigkeit

Umgebungstemperatur

+5 bis +40 °C

Relative Luftfeuchtigkeit

35 bis 80 % RH (Keine Kondensation)

Gewicht

18 kg