Messkopf: Roter Halbleiterlaser VK-X1050

Modell

VK-X1050

Typ

Messkopf

Gesamtvergrößerung

Bis zu 28,800 x^*1

Bildfeld

11 µm bis 7,398 µm

Bildrate (Lasermessgeschwindigkeit)

4 bis 125 Hz, 7,900 Hz^*2

Messprinzip

Optisches System

Konfokale Lochblendenoptik, Fokusvariation

Lichtaufnahmeelement

16-Bit-Erfassung: Photomultiplier, Hochauflösender CMOS-Chip

Abtastmethode (bei Standardmessungen und Bildzusammensetzung)

Automatische Einstellung des oberen/unteren Grenzwerts, schnelle Laserlichtintensitätseinstellung (AAGII) , Automatische Erkennung/Neuerfassung von Bereichen mit zu wenig Reflexion (Double Scan)

Höhenmessung

Anzeigeauflösung

5 nm

Linearmaßstab

Dynamikbereich

16-Bit

Wiederholgenauigkeit σ

Laser, konfokal

20 x, 40 nm; 50 x, 20 nm

Fokusvariation

5 x, 500 nm; 10 x, 100 nm; 20 x, 50 nm; 50 x, 30 nm

Bereich der Höhendatenerfassung

0,7 Millionen Stufen

Genauigkeit

0,2 + L /100 µm oder genauer^*3

Breitenmessung

Anzeigeauflösung

10 nm

Wiederholgenauigkeit 3σ

Laser, konfokal

20 x, 100 nm; 50 x, 50 nm

Fokusvariation

5 x, 400 nm; 10 x, 400 nm; 20 x, 120 nm; 50 x, 65 nm

Genauigkeit

±2 %^*3

XY-Objekttisch-Konfiguration

Manuell: Betriebsbereich

70 mm x 70 mm

Motorisiert: Betriebsbereich

100 mm x 100 mm

Betrachtung

Bildoptionen

Hochauflösendes CMOS-Farbbild Konfokales 16-Bit Laserfarbbild Konfokale Optik mit ND-Filter C-Laser DIK-Bild (Differential-Interferenz-Kontrast)

Beleuchtung

Auflichtbeleuchtung (Ringbeleuchtung) , Koaxialbeleuchtung

Laserlichtquelle für Messungen

Wellenlänge

Roter Halbleiter-Laser, 661 nm

Maximale Ausgangsleistung

1 mW

Laserklasse

Lasereinrichtung der Klasse 2 (DIN EN60825-1)

Netzanschluss

Spannung

100 bis 240 V AC, 50/60 Hz

Verbrauch

150 VA

Gewicht

Ca. 13,0 kg