Steuergerät VK-X4000

Name: Steuergerät - VK-X4000
Brand: KEYENCE

VK-X4000 - Steuergerät

*Bitte beachten Sie, dass das abgebildete Zubehör nur der Veranschaulichung dient und möglicherweise nicht im Lieferumfang des Produkts enthalten ist.

Datenblatt (PDF)

Technische Daten

Modell		VK-X4000
Typ		Steuergerät
Gesamtvergrößerung		VK-X4100: 42× bis 28800× VK-X4050: 42× bis 19200× ^*1
Sichtfeld		VK-X4100: 11 bis 7398 μm VK-X4050: 16 bis 7398 μm
Messprinzip		Konfokale Lochblendenoptik, Fokusvariation, Weißlichtinterferometrie, Spektrale Interferenz
Wellenlänge des Lasers		VK-X4100: Halbleiterlaser, 404 nm VK-X4050: Halbleiterlaser, 661 nm
Max. Geschwindigkeit der Lasermessung		Oberfläche: 125 Hz, Linie: 7900 Hz ^*2
Maximale Ausgangsleistung		1,0 mW
Laserklasse		Klasse 2 (DIN EN60825-1)
Laser-Lichtempfangselement		16-Bit-Photomultiplier
Weiße Lichtquelle zur Beleuchtung		Weiße LED
Weißlicht-Empfangselement		Hochauflösender CMOS-Chip
Konfokaler Laser	Anzeigeauflösung in Z	VK-X4100: 0,1 nm VK-X4050: 1 nm
	Wiederholgenauigkeit (σ) in Z	VK-X4100: (10σ) 100 nm, (20σ) 40 nm, (50σ) 12 nm VK-X4050: (10σ) 100 nm, (20σ) 40 nm, (50σ) 20 nm
	Anzeigeauflösung in XY	VK-X4100: 129,7 nm VK-X4050: 212,2 nm ^*3
	Wiederholgenauigkeit (3σ) in XY	VK-X4100: ×10 (3σ) 200 nm, ×20 (3σ) 100 nm, ×50 (3σ) 40 nm VK-X4050: ×10 (3σ) 400 nm, ×20 (3σ) 100 nm, ×50 (3σ) 50 nm
Fokusvariation	Anzeigeauflösung in Z	VK-X4100: 0,1 nm VK-X4050: 1 nm
	Wiederholgenauigkeit (σ) in Z	VK-X4100: (3σ) ×5 500 nm, (3σ) ×10 100 nm, (3σ) ×20 50 nm, (3σ) ×50 20 nm VK-X4050: (3σ) ×5 500 nm, (3σ) ×10 100 nm, (3σ) ×20 50 nm, (3σ) ×50 30 nm
	Anzeigeauflösung in XY	VK-X4100: 0,1 nm VK-X4050: 1 nm
	Wiederholgenauigkeit (3σ) in XY	(3σ) ×5 400 nm, (3σ) ×10 400 nm, (3σ) ×20 120 nm, (3σ) ×50 50 nm
Weißlichtinterferometrie	Anzeigeauflösung in Z	0,01 nm
	Anzeigeauflösung in XY	0,1 nm
	Wiederholgenauigkeit der Oberflächentopographie	0,08 nm ^*4
	Wiederholgenauigkeit von RMS	0,008 nm ^*4
Spektroskopische Messung der Schichtdicke	Wiederholgenauigkeit σ	0,1 nm ^*4
	Genauigkeit	±0,6% ^*4
Optische Betrachtung	Anzahl der Pixel	5,6 Millionen
	Revolver	6-Loch-Revolver (motorisiert)
	Ringbeleuchtung	2,5×, 5×, 10×
	Optischer Zoom	1 bis 8×
Netzanschluss	Spannung	100 bis 240 V AC, 50/60 Hz
	Leistungsaufnahme	150 VA
Umgebungsbeständigkeit	Umgebungstemperatur	+15 bis +28°C
	Relative Luftfeuchtigkeit	20 bis 80% r.F. (keine Kondensation)
Gewicht		Ca. 3 kg
^1 Bei Verwendung mit einer 23-Zoll-Vollbildanzeige. ^2 Bei maximaler Geschwindigkeit und Verwendung einer Kombination aus Messmodus/Messqualität/Objektivvergrößerung. Wenn die Linienerfassung innerhalb eines Pitchs von 0,1 μm liegt. ^3 Berechnung unter Verwendung der Rayleigh-Formel. ^4 Typische Werte gemäß der Standardmessumgebung.

Datenblatt (PDF) Andere Modelle