Lesen von Codes durch eine Sichtscheibe

Im Wafer-Rückverfolgbarkeitsmanagement während der Halbleiterfertigung ist die Einzelidentifikation in geschlossenen Räumen wie Vakuumkammern und Schleusenkammern unerlässlich. Das Lesen von Codes durch ein Sichtfenster war jedoch aufgrund von Lichtreflexion und -dämpfung durch das Glas sowie der Entfernung zwischen dem Lesegerät und dem Ziel eine Herausforderung, die ein stabiles Lesen erschwerte.

Der 1D/2D-Codeleser der Modellreihe SR-2000 von KEYENCE zeigt auch unter solch ungünstigen Bedingungen eine überragende Leseleistung. Er kombiniert ein in seiner Klasse bestes ultraweites Sichtfeld mit Lesefähigkeiten über große Entfernungen und ermöglicht es, mikroskopisch kleine 2D-Codes (DataMatrix), die von einem Beschriftungslaser auf Wafern eingraviert wurden, auch aus der Ferne durch ein Sichtfenster sofort und stabil zu lesen.

Darüber hinaus korrigieren sein neu entwickelter Lesealgorithmus und seine Autofokus-Funktion automatisch Werkstück-Fehlausrichtung und Schwankungen in der Gravurqualität. Dies erhöht die Designfreiheit der Ausrüstung und ermöglicht gleichzeitig ein genaues Rückverfolgbarkeitsmanagement, was wesentlich zur Automatisierung von Produktionslinien und zur Verbesserung des Niveaus der Qualitätskontrolle beiträgt.