Positioniergenauigkeit des Verfahrtisches
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Industriebereich:
- Halbleiter/LCDs
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Produkte:
- Optische Messtechnik / Messtaster
Die Genauigkeit der Anschlagposition des Verfahrtisches wird berührungslos gemessen. Die Messköpfe der Modellreihe CL sind kompakt, was den Platzbedarf für die Installation reduziert und Platz für mehrere Messköpfe schafft. Außerdem kann das mehrfarbige Konfokalverfahren hochgenaue Messungen über einen großen Messbereich durchführen.
