Messung der Exzentrizität an einer Waferhalterung
Halbleiterherstellung
Durch Exzentrizität werden unregelmäßige Teile erstellt.
- Vorteil
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Hohe Abtastrate und präzise Messergebnisse verringern die Zykluszeit und steigern somit die Produktivität.
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- Modellreihe LK-G5000
Ultraschnelle und hochgenaue Laser-Wegmesssensoren -
Laser-Wegmesssensoren sollten hohe Abtast-Frequenzen, hohe Messgenauigkeit und bei jeder Anwendung eine hervorragende Leistung bieten. Um weltweit das Optimum anzustreben, wurden die Modelle vom Typ LK-G5000 mit den neuesten Technologien ausgestattet.
- Modellreihe LK-G5000
- Modellreihe LK-G3000
Schnelle, hochpräzise CCD Laser-Wegmesssensoren -
Sechs Messköpfe mit neu entwickelten Mess-Algorithmen und zwei unterschiedlichen optischen Systemen.
- Modellreihe LK-G3000
