Messung der Exzentrizität an einer Waferhalterung
Halbleiterherstellung
Durch Exzentrizität werden unregelmäßige Teile erstellt.
- Vorteil
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Hohe Abtastrate und präzise Messergebnisse verringern die Zykluszeit und steigern somit die Produktivität.
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- Modellreihe LK-G5000
Ultraschnelle und hochgenaue Laser-Wegmesssensoren -
Die Triangulations-Laser-Wegmesssensoren der Modellreihe LK-G5000 bieten ultraschnelle und hochpräzise Messungen für jede beliebige Anwendung. Durch den Einsatz modernster Hardware wie dem RS-CMOS und dem HDE-Objektiv liefern die Sensoren zuverlässige Ergebnisse für eine Vielzahl von Materialien, auch bei schwach reflektierenden Oberflächen. Diese Technologie sorgt für einen Sensor mit hervorragender Linearität (0,02% von F.S.) und Wiederholgenauigkeit (0,005 µm). Mit einer maximalen Abtastfrequenz von 392 kHz erfasst die Modellreihe LK-G5000 zuverlässig hohe Schwingungsfrequenzen oder kleine Schwankungen bei sich schnell bewegenden Messobjekten. Dank der für eine Vielzahl von Branchen und Anwendungen geeigneten Messköpfe kann der Anwender den idealen Sensor entsprechend seinen Anforderungen an Messbereich, Genauigkeit und Lichtpunktgröße auswählen.
- Modellreihe LK-G5000
- Modellreihe LK-G3000
Schnelle, hochpräzise CCD Laser-Wegmesssensoren -
Die hochpräzisen Laser-Wegmesssensoren der Modellreihe LK-G3000 verwenden ein speziell entwickeltes Li-CCD-Element (linearisiertes CCD) und ein Ernostar-Objektiv, um eine flexible Lösung für die Wegmessung zu bieten. Für ein vielfältiges Anwendungsgebiet, bietet die Modellreihe eine breite Palette von Sensorköpfen für Anwendungen, die eine hohe Genauigkeit oder einen großen Abstand erfordern. Mit einer maximalen Reichweite von 1 Meter, kann die Modellreihe eine vielzahl von Anwendungen lösen. Die Sensoren verfügen über eine Funktion zur automatischen Anpassung der Einstellungen (ABLE-Einstellung), um die Reflexion von verschiedenen Oberflächen zu optimieren, wodurch eine stabile Messung von transparenten, gummierten oder metallischen Materialien möglich ist.
- Modellreihe LK-G3000
