Messung der Exzentrizität an einer Waferhalterung
Halbleiterherstellung
Durch Exzentrizität werden unregelmäßige Teile erstellt.
- Vorteil
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Hohe Abtastrate und präzise Messergebnisse verringern die Zykluszeit und steigern somit die Produktivität.
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Ultraschnelle und hochgenaue Laser-Wegmesssensoren
