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Messung der Exzentrizität an einer Waferhalterung

Eccentricity measurement of a susceptor

Halbleiterherstellung

Durch Exzentrizität werden unregelmäßige Teile erstellt.

Vorteil

Hohe Abtastrate und präzise Messergebnisse verringern die Zykluszeit und steigern somit die Produktivität.

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  • Laser-Wegmesssensoren sollten hohe Abtast-Frequenzen, hohe Messgenauigkeit und bei jeder Anwendung eine hervorragende Leistung bieten. Um weltweit das Optimum anzustreben, wurden die Modelle vom Typ LK-G5000 mit den neuesten Technologien ausgestattet.

  • Sechs Messköpfe mit neu entwickelten Mess-Algorithmen und zwei unterschiedlichen optischen Systemen.

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