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Erkennung der Position von Wafer-Kerben

Position detection of wafer notches

Das Bildverarbeitungssystem erkennt die Drehposition von Wafer-Kerben.

Die hohe Auflösung der 5-Megapixel-Kamera und die integrierten Algorithmen der Funktion „Trend Kantenkratzer“ ermöglichen die stabile Erkennung der Kerbe sowie die Ausgabe von Positions- und Abmessungsdaten.

Vorteil

Bei der Positionserkennung einer Kerbe mit einer 2-Megapixel-Kamera war die Wiederholgenauigkeit der Kamera nicht stabil. Mithilfe eines Bildverarbeitungssystems der Modellreihe XG, einer 5-Megapixel-Hochgeschwindigkeitskamera und der Funktion „Trend Kantenkratzer“ wurde die Kerbe zuverlässig erkannt.

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