Confocale laserscanmicroscopen

Laserscanmicroscopen

Laserscanmicroscopen zijn voorzien van twee lichtbronnen: wit licht voor het verzamelen van kleurinformatie en een laserbron voor het verzamelen van hoogte-informatie. Om hoogtegegevens vast te leggen, wordt met de laser in de XYZ-richting over het oppervlak van het monster gescand en wordt de gereflecteerde lichtintensiteit gemeten. Het resultaat is een kleurenbeeld met hoge resolutie, grote scherptediepte en nanometerhoogte voor het nauwkeurig meten van profielen en ruwheid.

Functioneel schema van het meetprincipe. 1. De laser scant in de X- en Y-richting. 2. Het objectief verplaatst zich in de Z-richting en de laser scant weer in de X- en Y-richting. 3. Deze scanprocedure wordt herhaald totdat het einde van de meetdiepte is bereikt. 4. Daarmee is de meting voltooid.

INDEX