Wafer Notch Erkennung und Messung

Eine Wafer Notch ist eine definierte Einkerbung auf dem Wafer, die mehrere wichtige Funktionen erfüllt:

• Ausrichtung und Orientierung des Wafers während der Fertigung
• Identifikation kristallographischer Ebenen
• Referenzpunkt für Automatisierungsprozesse in der Produktion

Die Genauigkeit der Wafer Notch Erkennung hängt maßgeblich von der Sensortechnologie ab. Die Modellreihe CL-3000, der Konfokale Lasersensor von KEYENCE misst die Kerbe als Höhenunterschied auf der Waferoberfläche mit einer herausragenden Genauigkeit von bis zu 1 µm.

Die Modellreihe CL-3000 ist ein 1D Laser-Abstandssensor, der eine außergewöhnlich hohe Genauigkeit von 1µm aufweist und sich daher für hochpräzise Messungen und Aufgaben wie die präzise Kerbenerkennung eignet. Der Messkopf enthält lediglich Linsen und die Glasfaseroptik. Der Verzicht auf elektronische Komponenten bedeutet eine stark vereinfachte Bauform und keine Wärmeentwicklung.

Infolgedessen kann dieser Sensor in Ultrahochvakuum- und explosionsgeschützten Umgebungen arbeiten. Er erzeugt keine elektrischen Störungen und ist dank seines konfokalen Designs in der Lage, hochreflektierende Objekte (wie Wafer) zu messen.

Die Integration der Wafer Notch Erkennung in die Produktion umfasst mehrere wichtige Überlegungen. Das System muss mit dem bestehenden Fertigungssystem, seinen Automatisierungsprotokollen und allen Maschinen kompatibel sein.

Es sollte auch in der Lage sein, unter Reinraumbedingungen zu arbeiten, die für die Halbleiterfertigung typisch sind. Die Integration erfolgt in der Regel über eine Software, die Echtzeit-Datenverarbeitungsfunktionen bietet, um eine einfache Rationalisierung des Produktionsprozesses zu gewährleisten und die Wahrscheinlichkeit von Fehlern zu verringern.

Jede Fehlstellung des Wafers kann zu Defekten führen und den Ertrag an funktionierenden Mikrochips reduzieren. Die präzise Wafer Notch Erkennung verbessert die Genauigkeit der Fotolithografie-Phase und unterstützt die fortschreitende Miniaturisierung moderner Elektronik.

Trotz moderner Technologien stellt die Messung der Wafer Notch immer noch Herausforderungen dar, insbesondere in Hochvolumen-Produktionslinien. Diese umfassen hauptsächlich partikuläre Verunreinigungen und Temperaturschwankungen, aber die größte Herausforderung ist die reflektierende Eigenschaft von Silizium. Der CL-3000 meistert diese Herausforderung durch den Einsatz von Mehrwellenlängenlicht und ausgeklügelten Verarbeitungsalgorithmen.

KEYENCE ist der weltweit führende Anbieter von hochmodernen Präzisionsmesssensoren und -technologien, die in der Halbleiterfertigung weit verbreitet sind. Wenn Sie Ihre Wafer-Inspektion verbessern möchten, zögern Sie nicht, KEYENCE zu kontaktieren und sich über mögliche Integrationen unserer Geräte in Ihre bestehenden Produktionslinien zu informieren.